加射频电源管式炉

PECVD系统  的详细介绍
MXG1200-PECVD型等离子增强化学气相沉积系统
技 术 参 数
设备简介
 
 MXG1200-PECVD型等离子增强化学气相沉积系统是利用辉光放电产生的等离子体中的电子动能去激活气相的化学反应。该系统由MXG1200系列真空管式炉、石英反应腔室、射频电源、多通道混气系统、真空机组、反应控制系统组成。
设备特点
1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相；
2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量；
3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率；
4、能广泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。
开启式真空管式炉
石英管
Φ60/80/100mm L1400mm
加热区尺寸
440mm
 
恒温区尺寸
200mm
 
控温模式
采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序。
 
升温速率
≤20℃min
 
极限温度
≤1200℃
 
长时间工作温度
≤1150℃
 
表面温度
< 60℃（1000℃保温）
 
控温精度
±1℃
 
加热元件
电阻丝（0Cr27Al7Mo2）
 
密封及连接方式
CF  KF  真空波纹管
质量混气系统
流量规格
50sccm\100sccm\200sccm\300sccm\500sccm(可自选量程)
 
调节阀类型
电磁调节阀
 
控制精度
±0.2%F.S
 
工作压差范围
（50～300）KPa
 
混气罐尺寸
Φ80×120mm
 
电功率
AC220V/50HZ/20W
真空系统参数
低真空配置
4L/S 机械泵  电阻真空计 真空波纹管 挡板阀
极限真空度：≤0.1Pa
 
高真空配置
4L/S 机械泵  300L/S分子泵 复合真空计 真空波纹管 挡板阀 
极限真空度：≤1.3×10-4Pa
射频电源系统
输出功率
5-300W   5-500W  (可选)
 
控制模式
手动/PLC/PC
 
工作频率
13.56MHZ标准正弦波
 
供电电压
单相交流（190V～240V）
 
冷却方式
风冷
设备外形尺寸
1800mm（长）*600mm（宽）*1390mm（高）
设备重量
215KG
服务**
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